제품 설명
제품 사양
| 표준 | ASTM A269, ASTM A632, SEMI F19, SEMI F20 |
| 강철 등급 | TP316L(UNS S31603) |
| 동등한 표준 | EN 10216-5: 1.4404 / 1.4435;JIS G3459: SUS316L;ASME BPVC 섹션 II SA-269 TP316L. |
| 외경(OD) | 1/8" – 4"(3.18mm – 101.6mm) |
| 벽 두께(WT) | 0.035" – 0.120"(0.89mm – 3.05mm) |
| 길이 | 최대 12m 또는 코일 형태 |
| 표면 처리 | 전해연마(EP), 광휘소둔(BA) |
| 생산 과정 | 냉간-인발/냉간 압연- |
| 상태 | 솔루션 소둔, 클린룸 포장, 더블백 |
TP316L은 2.0~3.0%의 몰리브덴을 함유하고 있어 공식 및 틈새 부식에 대한 탁월한 저항성을 나타내며(PREN 24 이상) 304L보다 훨씬 뛰어납니다. 반도체 습식 세정 스테이션 및 에칭 장비에서 일반적으로 발견되는 HCl, HF 및 NH₄OH와 같은 화학 물질 운송 조건에서 TP316L 전해 연마 SS 튜빙은 부식 속도가 더 낮습니다.
튜빙은 냉간 가공 및 표면 전해연마를 거쳐 0.13μm 이하의 Ra 표면 거칠기를 달성하여 유체 저항을 줄이고 UHP 가스 시스템에 적합하게 만듭니다.
맞춤형 서비스
- TORICH는 정밀 절단 및 디버링과 함께 ±0.025mm까지 정밀하게 제어되는 외경 및 벽 두께를 통해 맞춤형 치수 및 공차를 제공합니다.
- 튜브는 ISO 클래스 5(클래스 100) 클린룸에서 최종 세척 및 먼지{0}}건조를 거친 후 추적 가능한 외부 라벨이 부착된 이중- 또는 삼중{6}}클린룸-등급 백에 진공- 또는 질소{4}}퍼징 포장을 거칩니다.
- 정사각형 절단 및 모따기, VCR 피팅, 플레어링/플랜징, NPT 또는 G 스레딩을 포함한 맞춤형 튜브{0}}끝 처리 서비스를 이용할 수 있습니다.
- 맞춤형 표면 거칠기 옵션이 제공됩니다: 표준 EP(Ra 0.2 μm 이하), 고{1}}순도 EP(Ra 0.15 μm 이하) 및 초-고{4}}순도 EP(내부 표면 Ra 0.1 μm 이하).
화학 성분
| 요소 | C | 망 | P | S | 시 | Cr | 니 | 모 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TP316L (%) | 0.030 이하 | 2.00 이하 | 0.045 이하 | 0.030 이하 | 1.00 이하 | 16.0–18.0 | 10.0–14.0 | 2.0–3.0 |
기계적 성질
| 재산 | 인장강도(MPa) | 항복 강도 (MPa) | 신장률(%) | 경도(HB) |
| 값 | 485 이상 | 170 이상 | 35 이상 | 95 이하 |
가능한 대체 등급
- 비용이 주요 고려 사항이라면 TP304L이 옵션입니다. 몰리브덴이 포함되어 있지 않으며 TP316L보다 가격이 저렴합니다. 하지만 피팅 부식 저항성이 떨어지므로 28nm 이상의 성숙한 공정 노드를 활용하는 시설의 벌크 가스 시스템에 적합합니다.
- 316L VAR은 프리미엄 업그레이드 역할을 합니다. 이는 더 높은 재료 순도와 더 적은 표면 결함을 제공하므로 최첨단 제조 노드(7nm 이하)의 중요한 프로세스 가스 배관에 적합합니다.
- TP316L이 적합하지 않은 불화수소산, 진한 염산 또는 불소-함유 화학물질과 관련된- 부식성이 매우 높은 환경의 경우,{0}}PREN 값이 42를 초과하는 Hastelloy C-22가 실행 가능한 선택입니다.
응용 분야
- UHP 가스 공급 시스템– N2, O2, H2, Ar, He 및 특수 반도체 가스용 고순도-가스 유통.
- 화학물질 유통 시스템(CDS)– 고순도-공정 화학물질 및 산의 이송.
- 초순수(UPW) 시스템– 반도체-급 초순수 분배용 배관.
- 반도체 공정 장비– CVD, PVD, ALD, 에칭, 주입 및 확산 장비를 위한 가스 및 화학 연결.
- 가스 캐비닛 및 밸브 매니폴드 박스– 가스 제어 및 분배 시스템용 내부 튜브.
- 분석 계측– GC, MS, FTIR 및 공정 모니터링 장비용 고{0}}순도 튜빙.
제품 쇼


테스트 장비



공장 장비

산세 장비


제품 패키지



FAQ
Q: 전해연마 튜빙의 일반적인 내부 표면 마감은 어떻게 됩니까?
A: 우리는 ASTM A269 표준을 준수하는 전해연마 스테인리스 스틸 튜빙을 사용합니다. 내부 표면은 매우 매끄러우며 일반적인 거칠기 Ra는 0.4μm 이하이며, 고객 요청 시 Ra 0.15μm 이하로 추가 정제할 수 있습니다.
Q: 튜브의 높은-치수 정확도를 어떻게 보장하나요?
A: 정밀 냉간 인발, 제어된 어닐링, 엄격한 전해연마 공정 제어를 통해 치수 정확도가 보장됩니다. 각 튜브는 외경, 내경, 벽 두께, 직진도, 난형도 검사를 받고 측정 결과는 MTC(Mill Test Certificate)에 기록됩니다.
Q: 이 튜빙은 오비탈 용접이나 TIG 용접에 적합합니까?
답: 그렇습니다. 우리의 튜빙은 용접성이 뛰어납니다. 사전-세척이 권장되며 사후-용접 패시베이션 또는 전해연마를 통해 고순도 시스템에서 튜브의 표면 평활도와 내부식성을 복원할 수 있습니다.-
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